Feinfocus推出的WBI-FOX系统是专为晶片制造业特别需求而设计的高端x射线检测系统之一，适合最新晶片凸点的空洞检测。 　　WBI-FOX系统完全量身定做，通过使用一个定做的晶片传
统，避免任何人工界面，以满足200毫米和300毫米晶片的自动装载要求。系统配有灵活的检测工艺（检测配方），调节至特定晶片特性的检测并按照预先定义的报告模板输出检测结果总结。完全可编程系统按照人体工程学设计，具备用户友好界面，可调节操作台，全自动晶片装载和卸载，全自动检测流程，基于缺陷检测优化的实时图像处理系统。系统具有实时空洞检测必备的可确保稳定持久图像质量的Feinfocus　x射线强度控制装置。