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产品介绍
经济型气体质量流量控制器和流量计
经济型气体质量流量控制器和流量计
适用于洁净气体
•
可测量最大流速为10 SLM
•
0 ~ 5 Vdc线性输出
•
具成本效益
FMA3100系列质量流量传感器代表着质量流量传感器技术领域的突破。先进的电子器件、紧凑的机械设计以及批量生产加工理念在这一高性能、低成本的产品中集中体现。气体流量传感器适合多种OEM应用。0 ~ 5 Vdc线性输出作为标准输出信号。
FMA3200质量流量控制器外形小巧,它利用基本的FMA3100热式质量流量传感器提供精确、稳定的气体流量控制。在断电模式下,流量控制阀关闭,同时泄漏率最低。这种具成本效益的控制器是众多OEM应用的理想之选,它提供0 ~ 5 Vdc线性输出并接收0 ~ 5 Vdc的控制输入。
FMA3300在FMA3100流量计功能的基础上增加了一个可调节3位半数字LCD数字显示仪表,用于查看以工程单位(即mL/min或L/min)显示的流量。已经证实,这些紧凑型流量计在很多实验室应用中效果显著。
规格:
输出:
0 ~ 5 Vdc(最小值2500 Ω)
输入设定电压
(仅FMA3200):
0 ~ 5 Vdc
精度:
满量程的±1.5%*
重复性:
满量程的±0.5%
响应时间:
在满量程的25 ~ 100%范围大约2秒(常规)达到设定流速的±2%内
工作环境:
10 ~ 50°C (50 ~ 122°F),无冷凝空气
工作压力范围:
25°C (77°F)时达到最大值150 psi
温度系数:
每°C为±0.2%
压力系数:
每psi为±0.02%
泄漏完整性:
对于外界环境,最大值为1x10-4SCCS氦气
输入电源:
FMA3100和FMA3300:
12 ~ 15 Vdc,100 mA (1.5 W)
FMA3200:
12 ~ 15 Vdc,250 mA (3.75 W)
连接口:
流速达到1 L/min时,采用⅛"压合接头;流速达到5 L/min时,采用¼" 压合接头;流速达到10 L/min时,采用⅜"压合接头
接液材质:
阳极氧化铝、氟橡胶O形圈、304和316不锈钢、环氧树脂、乙缩醛压合管接头(标配)
量程比:
10:1
气体:
大部分洁净、干燥气体(例如,空气、氮气、二氧化碳、氩气、氢气、氦气、甲烷、氧气)
过滤:如果气体中含有任何颗粒物质,需要使用20微米过滤器
规格(FMA3200流量控制器)
压差:
15 ~ 40 psi
阀门工作寿命:
>1百万次循环;阀门处于常闭状态
阀门处的泄漏率:
0.2 SCCM或低于满量程的2%,以较大值为准
控制量程:
50:1
远程设定电压:
0 ~ 5 Vdc
重量:
FMA3100:
199 g (0.44 lb)
FMA3300:
249 g (0.55 lb)
FMA3200:
386 g (0.85 lb)
不带接头的尺寸(近似值):
FMA3100:
47(长)x 26(宽)x 90 mm(高)(1.87 x 1.03 x 3.55")
FMA3300:
47(长)x 26(宽)x 127 mm(高)(1.87 x 1.03 x 5.0")
FMA3200:
81(长)x 26(宽)x 97 mm(高)(3.17 x 1.03 x 3.80")
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